无尘净化厂房是一个复杂的系统工程，应用的功能要求不同。监理工程师审查施工图的目的是熟悉图纸，了解设计意图，为设计交底、施工图会审和施工组织设计审查做好准备。首先，要了解本工程设计要求的目的和作用，深入理解总体设计说明，按子系统对各空调机组控制面积、风管系统及各种管线布置进行复核，做好记录，必要时进行复合计算。根据经验判断并提出评审意见。常见情况如下：

1、工艺设备与进回风口位置矛盾，设备阻挡进回风口，影响风流，会影响温度变化梯度。
2、工艺设备本体散热、废油气排放，此项与设备选型订货有关、若考虑不周，后续改造较困难。
3、空调水系统过滤位置，主机供货商一般要求进出水口另设过滤保护主机。
4、室内地下管线材质、埋设方式与地质情况室符合的，宜设通行或半通行地沟。
5、恒温、恒湿间风流设计，不宜采取风口送回风，会有温湿度不均匀现象。
6、净化等级不同区域人流、物流组织与非净化区域人流、物流组织是否有交叉，有否缓冲措施。
7、工艺设备本身排风，会造成局部风景不平衡，改变气流，特别注意有轴流风机部位，轴流风机噪音消除也应重视。
8、工艺设备数量不确定的，空调系统宜预留足够余量。应考虑增加的工艺设备本身散热。
9、关注各种水电预留管线位置、容量与工艺设备的配套。
10、可建议设计人员与建设单位使用部门充分沟通，尽量避免建成后大的变更改动。