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层流罩是能将操作员与产品屏蔽隔离的设备之一,其主要用途是避免产品污染。从洁净室吸取的空气,然后采用顶部增压舱里安装的风扇通过HEPA过滤垂直穿过操作区域,为关键区域提供ISO 5(级别100)的单向流空气。废气从下面排出,返回洁净室区域。它主要由箱体、风机、高效空气过滤器、阻尼层、灯具等组成。 洁净层流罩是将空气以一定地风速通过高效过滤器后,形成均流层,使洁净空气呈垂直单向流,从而保证了工作区内达到工艺要求的高洁净度。

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