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无尘车间净化工程怎么控制温湿度
编辑:江苏豪俊净化工程有限公司   时间:2019-09-27

        如何控制无尘车间净化工程的温湿度,你真的掌握了吗?净化车间项目的关键作用是提供一个健康的生活、衣着和环境,创造一个良好的环境控制空间,考虑到照明、温度、环境湿度、噪音、总气体流量、工作压力、静态数据和食品卫生。微振动自然环境等标准。提高产品合格率,改进和提高服务质量相关目标。

        无尘车间净化工程的温度湿度关键依据加工工艺规定明确,但在考虑加工工艺规定的标准下,要考虑到人的舒适度。随之气体洁净度规定的提升,对溫度和环境湿度的规定愈来愈严苛。随之生产加工精密度的提升,对溫度起伏范畴的规定会愈来愈小。比如,在规模性集成电路芯片造成的光刻曝出全过程中,夹层玻璃与硅片做为掩模原材料的线膨胀系数差规定愈来愈小。直徑100um的硅片,溫度升高1度,就造成了0.24um线形澎涨,因此务必有±0.1度的控温,一起规定环境湿度值较低,由于人流汗之后,对商品将会有环境污染,非常是钠的半导体材料生产车间,这类生产车间不可超出25度。

       高环境湿度会引起很多问题。当空气湿度超过55%时,冷却循环水壁厚暴露。如果是在高精度的机械设备或电源电路中生产,会引起各种安全事故。空气湿度通常在50%时腐蚀。另外,当环境湿度很高时,粘附在硅片表面的粉尘会被气体中的氧分子吸附,很难去除。相对湿度和附着力较难去除,但当相对湿度小于30%时,由于静电粒子对表面吸附的影响,很容易破坏许多半导体器件。硅片生产的较佳温度范围为35-45%。

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